應(yīng)用介紹

【行業(yè)】SEMI

【設(shè)備】清洗機/CDS/SDS

【用途】去除晶圓表面的顆粒污染物、氧化層等

應(yīng)用場景

對儲液罐（tank）的液位進行檢查。

解決課題

部分有機溶液（氫氟酸）具有腐蝕性，無法使用透明玻璃管顯示液位。

價值提案

核心產(chǎn)品：光纖傳感器E32-D82F1（接液型）、光纖放大器E3NX-FA

■接液型光纖傳感器可部署于儲液罐（tank）內(nèi)直接接觸液體測量

■200℃的耐熱性并有氟樹脂涂層，耐化學(xué)性強，滿足清洗槽溫度和腐蝕要求，實現(xiàn)對有機溶液的液位檢測

相關(guān)產(chǎn)品

光纖傳感器E32

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/

光纖放大器E3NX-FA

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/

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