在半導體3nm制程工廠的潔凈車間里，一臺OHT（Overhead Hoist Transport）天車正懸掛在軌道上高速行駛。當即將抵達目標機臺時，它突然減速——并非接到中央系統(tǒng)指令，而是收到前方10米處小車發(fā)出的臨時變道信息同時傳感器也檢測到了前方的小車，于是，它自主規(guī)劃出一條繞行路徑，同時將決策同步給周邊設(shè)備；在抓取晶圓載具（FOUP）時，振動傳感器捕捉到微米級振動，邊緣控制器立即通過動力學優(yōu)化調(diào)整夾爪，確保晶圓零損傷。這不是科幻場景，而是格創(chuàng)東智OHT天車智能體（OHT Agent）的日常操作。

當邊緣計算、多模態(tài)傳感感知與AI算法深度融入傳統(tǒng)天車，半導體物流的“空中搬運工”正升級為具備環(huán)境感知、自主決策、自我進化能力的智能體，重新定義著AMHS（自動化物料搬運系統(tǒng)）的效率與可靠性邊界。

一、從“執(zhí)行終端”到“智能體”：

OHT天車的進化邏輯

傳統(tǒng)OHT天車本質(zhì)是“中央控制系統(tǒng)的執(zhí)行終端”：依賴MCS（物料控制系統(tǒng)）和OHTC（智能天車控制系統(tǒng)）下達的固定任務和固定路徑指令，通過簡單傳感器完成定位，故障處理完全依賴人工排查。這種模式在先進制程工廠中逐漸暴露短板——3nm產(chǎn)線需處理每天超10萬次晶圓搬運任務，設(shè)備響應延遲1秒就可能導致機臺效率下降；晶圓厚度降至50μm時，0.5G的振動就會造成裂片，而傳統(tǒng)天車的機械誤差已逼近工藝極限。

格創(chuàng)東智OHT天車智能體的突破在于構(gòu)建“感知-決策-執(zhí)行”閉環(huán)，讓天車從“被動執(zhí)行”變?yōu)椤爸鲃訁f(xié)同”。 

●感知層：通過激光雷達、視覺相機、溫度傳感器等，實時捕捉軌道狀態(tài)、周邊設(shè)備、自身機械性能等多維度數(shù)據(jù)；

●決策層：邊緣控制器本地化處理數(shù)據(jù)，結(jié)合AI算法自主生成最優(yōu)路徑、動態(tài)調(diào)整運行參數(shù)；

●執(zhí)行層：OHT操作系統(tǒng)實時進行動作控制，配合力反饋裝置完成柔順操作。

二、傳感器矩陣：

智能天車的“五感系統(tǒng)”

OHT天車的智能體化，始于對環(huán)境與自身的“全知全能”。格創(chuàng)東智為天車打造的完整傳感器矩陣如同為其裝上 “眼睛、耳朵和神經(jīng)末梢”，同時，每一款傳感器都針對半導體潔凈室環(huán)境進行了特殊優(yōu)化。

環(huán)境感知傳感器

●激光雷達：安裝在天車前端上下兩處，可識別10米外直徑0.5mm的異物（如脫落的螺絲），測距精度達±2mm，為路徑規(guī)劃提供實時障礙物數(shù)據(jù)；

●視覺相機+AI識別：高速工業(yè)相機配合深度學習算法，精準識別軌道標識、機臺Load Port位置，定位誤差≤0.1mm，即使在潔凈室燈光變化下仍保持穩(wěn)定識別；

●無線通訊傳感器：天車上安裝不依賴WiFi的無線通訊傳感器，讓天車和天車之間在某個范圍內(nèi)局部組網(wǎng)，實現(xiàn)高效、安全的本地決策。

設(shè)備狀態(tài)感知傳感器

●電流/電壓/溫度傳感器：實時監(jiān)測電機運行參數(shù)，當電流波動超±5%或溫度升至60℃時，自動降低負載并通知調(diào)度系統(tǒng)，避免突發(fā)停機；

●力反饋傳感器：集成在FOUP抓取機構(gòu)，檢測抓取力（精度±0.1N），當載具輕微變形時，動態(tài)調(diào)整夾持力度，防止晶圓滑移。

●慣性傳感器（IMU）：實時監(jiān)控小車的運動姿態(tài)，邊緣控制器依據(jù)IMU數(shù)據(jù)以毫秒級別的頻率對小車運行狀態(tài)進行實時調(diào)節(jié)。

三、邊緣控制：

智能天車的“小腦”，實現(xiàn)本地化實時決策

如果說傳感器是“五感”，邊緣控制器就是天車的“小腦”——在本地完成數(shù)據(jù)處理與決策，擺脫對中央系統(tǒng)的依賴，這是智能體化的核心突破。

●低延遲決策：傳統(tǒng)天車的路徑調(diào)整需經(jīng)“傳感器→天車→OHTC→天車”鏈路，延遲常超100ms。邊緣控制器將處理節(jié)點部署在天車本地，數(shù)據(jù)處理延遲壓縮至10ms以內(nèi)。

●離線自治能力：當AMHS中央網(wǎng)絡中斷時，傳統(tǒng)天車會立即停機。而邊緣控制的天車可通過傳感器監(jiān)測自身狀態(tài)，以及無線通信傳感器和周邊天車形成的局部網(wǎng)絡，基于本地存儲的軌道地圖與任務隊列，繼續(xù)執(zhí)行已接收的搬運指令。

●能耗優(yōu)化：邊緣控制器結(jié)合實時任務量與設(shè)備狀態(tài)，動態(tài)調(diào)整運行參數(shù)。比如空載返程時，自動降低電機轉(zhuǎn)速以減少能耗；根據(jù)軌道坡度提前調(diào)整驅(qū)動力矩，避免急加速/急減速，既降低振動，又節(jié)省能耗。

四、AI算法：

智能天車的“大腦”，驅(qū)動自主進化

傳感器與邊緣控制構(gòu)建了智能體的“硬件基礎(chǔ)”，而AI算法則賦予其“思考能力”，實現(xiàn)從“數(shù)據(jù)到?jīng)Q策”的跨越。

●動態(tài)路徑規(guī)劃：基于強化學習訓練的路徑算法，可實時優(yōu)化行駛路線。當某區(qū)域天車密度超閾值時，自動引導新任務天車繞行，避免形成“空中堵車”；通過分析周邊天車的運行軌跡，提前預判潛在沖突并進行“預測性避讓”。

●故障預測與健康管理：通過機器學習模型分析傳感器歷史數(shù)據(jù)，構(gòu)建設(shè)備健康度評估體系。比如對驅(qū)動電機的振動數(shù)據(jù)進行頻譜分析，識別早期故障特征；基于歷史維護記錄與運行參數(shù)，自動生成個性化保養(yǎng)計劃，提高平均無故障運行時間（MTBF）。

●群體智能協(xié)同：多臺天車通過邊緣節(jié)點的分布式協(xié)同算法，實現(xiàn)群體優(yōu)化。當某區(qū)域天車負載過高時，自動將部分任務調(diào)度至空閑天車；當某臺天車突發(fā)故障時，周邊天車自動分擔其未完成任務，并調(diào)整路徑避開故障區(qū)域，確保產(chǎn)線物流中斷。

與此同時，格創(chuàng)東智與香港大學強強聯(lián)合，成立工業(yè)AI聯(lián)合實驗室，持續(xù)探索調(diào)度算法、智能體應用等，將加速OHT天車智能體的進化。

五、從“智能單機”到“智能網(wǎng)絡”：

重塑半導體物流生態(tài)

當OHT不再只是“跑得快”，而是“看得見、想得快、算得準”，它就從軌道上的搬運工升級為產(chǎn)線里的智能體。格創(chuàng)東智OHT天車智能體的價值不止于單臺設(shè)備的性能提升，更在于通過“設(shè)備互聯(lián)+數(shù)據(jù)互通”構(gòu)建智能物流網(wǎng)絡，與格創(chuàng)東智CIM系統(tǒng)深度融合，為半導體工廠帶來系統(tǒng)性變革：

●良率提升：因搬運導致的晶圓污染率、振動相關(guān)裂片率都會降低，從而提升晶圓良率；

●效率優(yōu)化：天車系統(tǒng)整體吞吐量提升，機臺等待物料時間減少，晶圓年產(chǎn)能增加；

●成本降低：預測性維護使維修成本下降，能耗優(yōu)化年節(jié)省電費超百萬元；

●柔性升級：支持8吋/12吋晶圓混線生產(chǎn)的動態(tài)調(diào)度，縮短產(chǎn)線切換時間。

未來，隨著數(shù)字孿生、5G通信、更先進AI模型的融入，格創(chuàng)東智OHT天車智能體將實現(xiàn)更高階的能力——例如通過數(shù)字孿生模擬不同調(diào)度策略的效果，提前優(yōu)化路徑；結(jié)合工廠能源管理系統(tǒng)，在用電高峰自動調(diào)整運行節(jié)奏，平衡生產(chǎn)與能耗。這場“空中搬運工”的智能革命，正成為半導體制造業(yè)邁向“黑燈工廠”的關(guān)鍵一步，而格創(chuàng)東智將持續(xù)以 “AI+CIM+AMHS” 整體解決方案，重新定義智能制造的效率邊界，助力中國半導體產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)自主可控高質(zhì)量發(fā)展。