某半導(dǎo)體電子貨架現(xiàn)場

（1）每個晶圓盒的全生命周期數(shù)據(jù)（如蝕刻周期、清洗次數(shù)）需要通過RFID標簽實時記錄。

（2）當FOUP被錯誤放置（如CMP后晶圓進入沉積區(qū)），系統(tǒng)立即觸發(fā)聲光報警，并鎖定貨架操作權(quán)限。

晨控提供的解決方案：

（1）半導(dǎo)體RFID讀寫器安裝在電子貨架上，通過無線射頻識別技術(shù)，實時讀取FOUP晶圓載具的標簽信息，精確記錄其存放拿取時間、存放位置、批次數(shù)據(jù)，實現(xiàn)自動化追蹤與管理，有效提升信息檢索效率和降低污染風(fēng)險，確保晶圓生產(chǎn)與管理的高效與安全。

（2）在晶圓盒上安裝RFID標簽，記錄生產(chǎn)過程和檢測結(jié)果。一旦出現(xiàn)質(zhì)量問題，可快速追溯到具體批次和生產(chǎn)環(huán)節(jié)，為質(zhì)量改進提供依據(jù)。通過RFID系統(tǒng)，半導(dǎo)體企業(yè)能夠建立完整的晶圓質(zhì)量追溯體系，從原材料采購、生產(chǎn)加工到成品出廠，每一個環(huán)節(jié)的信息都被準確記錄在標簽中。當出現(xiàn)質(zhì)量問題時，企業(yè)可以迅速定位問題源頭，采取相應(yīng)的措施進行整改，有效降低質(zhì)量風(fēng)險，提高產(chǎn)品質(zhì)量和客戶滿意度。

（3）當FOUP放置在貨架上時，半導(dǎo)體RFID讀寫器立即捕獲其RFID標簽，更新系統(tǒng)位置和時間戳數(shù)據(jù)。占用槽位的LED指示燈增強視覺引導(dǎo)。每個晶圓批次的歷史數(shù)據(jù)（如蝕刻周期、清洗次數(shù)）實現(xiàn)全生命周期追溯，對良率分析和質(zhì)量控制至關(guān)重要。系統(tǒng)根據(jù)RFID收集的數(shù)據(jù)（如緊急批次標記）優(yōu)先處理FOUP。如果FOUP被放置在錯誤區(qū)域（如CMP后晶圓進入沉積區(qū)域），系統(tǒng)觸發(fā)不匹配警報。降低或消除人工掃描識別，減少人員流動所造成的顆粒物污染。

應(yīng)用產(chǎn)品 晨控CK-S610系列產(chǎn)品特點： l高集成度：集天線，放?器，控制器于?體的3合1型低頻讀寫器。 l豐富的接口和協(xié)議：RS232、RS485，支持工業(yè)協(xié)議Modbus RTU

l高防護等級：防護等級達到IP67，具有防水、防腐蝕、防干擾等特點，能夠適應(yīng)惡劣的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。 l標準協(xié)議：讀卡器工作頻率 134.2kHz，HDX 工作模式，支持ISO11784/85射頻標準標簽。