9 月 4 日 -6 日 , 第十三屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件及材料展在無(wú)錫太湖國(guó)際博覽中心啟幕 , 源自?shī)W林巴斯 , 助力偉大攀登。奧偉登 ( Evident ) , 攜 DSX2000 數(shù)碼顯微鏡、OLS5100 3D 測(cè)量激光顯微鏡、BXC 顯微鏡組件三大核心產(chǎn)品 , 于 B1-221B 展位呈現(xiàn)半導(dǎo)體制造全流程微觀檢測(cè)方案 , 為行業(yè) " 精密制程、嚴(yán)苛品控、高效生產(chǎn) " 需求提供技術(shù)支撐。

DSX2000 數(shù)碼顯微鏡 : 多場(chǎng)景觀測(cè)效率革新

半導(dǎo)體制造中 , 透明光刻膠、金屬互聯(lián)層等不同材質(zhì)檢測(cè)常需頻繁調(diào)整顯微鏡參數(shù) , 易致效率低、誤差大。奧偉登 DSX2000 數(shù)碼顯微鏡搭載智能光學(xué)系統(tǒng) , 明場(chǎng)、暗場(chǎng)、微分干涉相差 ( DIC ) 、偏振光等觀測(cè)模式可一鍵切換 , 無(wú)需手動(dòng)更換部件 , 快速適配多材質(zhì)檢測(cè)場(chǎng)景。

設(shè)備配備 4K 超高清成像單元與專業(yè)級(jí)色彩還原技術(shù) , 能清晰捕捉納米級(jí)細(xì)節(jié) , 為晶圓缺陷識(shí)別提供精準(zhǔn)依據(jù) ; 同時(shí)內(nèi)置自動(dòng)化檢測(cè)流程 , 可預(yù)設(shè)放大倍率、照明強(qiáng)度等參數(shù) , 新手也能快速操作 , 且檢測(cè)數(shù)據(jù)可聯(lián)動(dòng)工廠系統(tǒng)、導(dǎo)出標(biāo)準(zhǔn)化報(bào)告 , 大幅提升量產(chǎn)場(chǎng)景檢測(cè)效率。

OLS5100 3D 測(cè)量激光顯微鏡 : 三維成像突破分析瓶頸

針對(duì)半導(dǎo)體封裝焊點(diǎn)三維結(jié)構(gòu)、材料表面粗糙度等關(guān)鍵參數(shù)難測(cè)量的問(wèn)題 ,OLS5100 3D 測(cè)量激光顯微鏡以激光共聚焦技術(shù)為核心 , 通過(guò)逐點(diǎn)掃描獲取樣本縱向光學(xué)切片 , 經(jīng)軟件重構(gòu)生成三維立體圖像 , 精準(zhǔn)測(cè)量焊點(diǎn)高度差、封裝膠體平整度等數(shù)據(jù)。

相較于傳統(tǒng)共聚焦設(shè)備 ,OLS5100 掃描效率提升 2 倍 , 且內(nèi)置三維分析算法 , 可自動(dòng)計(jì)算體積、面積、粗糙度等參數(shù) , 避免人工測(cè)量主觀誤差 , 為半導(dǎo)體制造標(biāo)準(zhǔn)化品控筑牢數(shù)據(jù)基礎(chǔ)。

BXC 顯微鏡組件 : 潔凈車間的 " 可靠搭檔 "

半導(dǎo)體潔凈車間對(duì)設(shè)備潔凈度、抗干擾性、穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛 , 奧偉登 BXC 顯微鏡組件針對(duì)性設(shè)計(jì) : 硬件采用防腐蝕、防靜電材料 , 表面經(jīng)特殊涂層處理 , 可耐受異丙醇消毒擦拭 ; 內(nèi)部電路具備抗電磁干擾能力 , 與光刻機(jī)、離子注入機(jī)等高頻設(shè)備同場(chǎng)使用仍能保持成像穩(wěn)定 ; 載物臺(tái)、物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)等關(guān)鍵部件經(jīng) 10 萬(wàn)次以上磨損測(cè)試 , 長(zhǎng)期高頻率操作仍維持微米級(jí)定位精度 , 降低設(shè)備維護(hù)成本。

功能適配性上 ,BXC 支持模塊化擴(kuò)展 , 可搭載高靈敏度相機(jī)實(shí)現(xiàn)熒光成像 , 滿足半導(dǎo)體材料熒光標(biāo)記檢測(cè)需求 ; 也可接入自動(dòng)化載物臺(tái) , 實(shí)現(xiàn)晶圓樣本自動(dòng)移動(dòng)與多區(qū)域檢測(cè) , 適配車間 24 小時(shí) " 無(wú)人值守 " 連續(xù)生產(chǎn)場(chǎng)景。

作為半導(dǎo)體微觀檢測(cè)領(lǐng)域的技術(shù)推動(dòng)者 , 奧偉登 ( Evident ) 此次亮相無(wú)錫半導(dǎo)體展 , 不僅展示了三大核心產(chǎn)品的技術(shù)實(shí)力 , 更企盼與行業(yè)同仁深入探討微觀檢測(cè)賦能半導(dǎo)體制造的創(chuàng)新方向 , 攜手推動(dòng)全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向更高精度、更高效率升級(jí)。

關(guān)于我們

每一項(xiàng)發(fā)現(xiàn) , 都始于對(duì)未知的探索。一個(gè)多世紀(jì)以來(lái) , 作為奧林巴斯 ( Olympus ) , 我們?cè)陲@微技術(shù)領(lǐng)域不斷突破卓越光學(xué)的邊界 , 助力全球頂尖科學(xué)家、醫(yī)師工、程師觀察得更細(xì)致、了解得更透徹、成就得更卓越。

如今 , 作為奧偉登 ( Evident ) , 我們傳承這份積淀 , 繼續(xù)致力于突破探索的極限。科學(xué)創(chuàng)新是我們工作的核心——以光學(xué)技術(shù)照亮未知領(lǐng)域。我們的先進(jìn)成像平臺(tái)融合享譽(yù)世界的光學(xué)技術(shù)與前沿?cái)?shù)字化創(chuàng)新 , 助您從觀察到洞察 , 每一步都篤定前行。無(wú)論是推動(dòng)新療法研發(fā)、確保產(chǎn)品完整性 , 還是探索未知領(lǐng)域 , 奧偉登 ( Evident ) 打造的智能易用的成像工具 , 都將助您預(yù)見(jiàn)未來(lái)。

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