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格創(chuàng)東智Stocker:覆蓋半導(dǎo)體全流程存儲(chǔ),推動(dòng)良率&效率雙提速

格創(chuàng)東智Stocker:覆蓋半導(dǎo)體全流程存儲(chǔ),推動(dòng)良率&效率雙提速

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在半導(dǎo)體工廠的潔凈車(chē)間里,一臺(tái)格創(chuàng)東智Stocker(晶圓存儲(chǔ)立庫(kù))正以2m/s的速度,將裝有晶圓的FOUP/POD載具搬入目標(biāo)Shelf(儲(chǔ)位)。與此同時(shí),它通過(guò)SECS/GEM協(xié)議與MES/MCS系統(tǒng)實(shí)時(shí)聯(lián)動(dòng),自動(dòng)更新物料狀態(tài);當(dāng)檢測(cè)到庫(kù)內(nèi)氧濃度波動(dòng)時(shí),N2 Purge系統(tǒng)自動(dòng)啟動(dòng),將環(huán)境參數(shù)拉回“安全范圍”……


如今的半導(dǎo)體Stocker,早已不是簡(jiǎn)單的“物料倉(cāng)庫(kù)”,而是集全流程自動(dòng)化、系統(tǒng)協(xié)同調(diào)度、高潔凈控制于一體的產(chǎn)線核心樞紐,直接影響著晶圓良率、生產(chǎn)效率與制造成本。


Stocker的產(chǎn)線價(jià)值:

從“存儲(chǔ)設(shè)備”到“良率&效率加速器”

格創(chuàng)東智Stocker可直接為產(chǎn)線帶來(lái)“良率提升、效率優(yōu)化、成本降低”三大核心收益,成為推動(dòng)半導(dǎo)體智能制造的加速器。


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1、提升晶圓良率

●Class100潔凈度自主可控:格創(chuàng)東智Stocker可穩(wěn)定維持Class100潔凈環(huán)境,非接觸式供電、光通訊等方式的采用進(jìn)一步滿足高潔凈等級(jí)無(wú)塵環(huán)境使用要求。對(duì)比傳統(tǒng)倉(cāng)儲(chǔ),晶圓存儲(chǔ)期間的微粒污染率大大降低

●≤0.5G低震防損傷設(shè)計(jì):采用高可靠性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),將振動(dòng)控制在≤0.5G(先進(jìn)型號(hào)可至≤0.35G),配合軟質(zhì)耐磨的載具卡槽,大幅降低晶圓裂片率,解決存儲(chǔ)過(guò)程中晶圓“隱性損傷”問(wèn)題。

●7×24小時(shí)無(wú)人化存取:格創(chuàng)東智Stocker集成高精度機(jī)械臂(定位精度±0.05mm)與RFID/視覺(jué)識(shí)別系統(tǒng),支持7×24小時(shí)不間斷運(yùn)行,同時(shí)避免人員進(jìn)出帶來(lái)的污染風(fēng)險(xiǎn)。


2、優(yōu)化生產(chǎn)效率

半導(dǎo)體產(chǎn)線的“機(jī)臺(tái)閑置”是最大的效率浪費(fèi),而格創(chuàng)東智Stocker通過(guò)“緩沖調(diào)節(jié)”與“動(dòng)態(tài)調(diào)度”,有效解決這一問(wèn)題:

●平衡工序產(chǎn)能差:當(dāng)光刻、刻蝕等前道工序產(chǎn)能高于封裝測(cè)試時(shí),Stocker可臨時(shí)存儲(chǔ)半成品晶圓,避免前道設(shè)備因“物料堆積”停機(jī);反之,當(dāng)后道工序需求激增時(shí),Stocker可快速釋放物料,確保后道設(shè)備滿負(fù)荷運(yùn)行;

●數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)調(diào)度:基于MES/MCS系統(tǒng)的數(shù)據(jù),Stocker可提前準(zhǔn)備待加工料盒,通過(guò)OHT/AGV精準(zhǔn)對(duì)接機(jī)臺(tái)Load Port,減少機(jī)臺(tái)等待物料時(shí)間,提高設(shè)備稼動(dòng)率。


3、降低綜合成本

●人力成本節(jié)?。?/strong>Stocker單次物料存取效率是人工操作的4倍,單條產(chǎn)線可減少3-5名倉(cāng)儲(chǔ)操作人員,人力成本顯著下降;

●節(jié)能設(shè)計(jì)降成本:采用變頻風(fēng)機(jī)、動(dòng)態(tài)補(bǔ)氣等技術(shù),單臺(tái)Stocker年耗電量、N2 Purge Stocker年消耗氮?dú)饬慷紩?huì)降低。


四大核心優(yōu)勢(shì):

格創(chuàng)東智Stocker以技術(shù)與服務(wù)構(gòu)建護(hù)城河

作為國(guó)內(nèi) Stocker 領(lǐng)域 “研發(fā)最早、出貨最多” 的企業(yè),格創(chuàng)東智憑借技術(shù)、產(chǎn)品、交付、系統(tǒng)四大優(yōu)勢(shì),構(gòu)建起難以復(fù)制的行業(yè)護(hù)城河。


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1、技術(shù)領(lǐng)先,打破高端存儲(chǔ)設(shè)備壟斷

作為T(mén)CL戰(zhàn)略孵化的工業(yè)智能解決方案提供商,格創(chuàng)東智于2024年通過(guò)戰(zhàn)略收購(gòu)成立旗下新公司——格創(chuàng)維晟,構(gòu)建了完整的AMHS產(chǎn)品體系,并在國(guó)內(nèi)首發(fā)生產(chǎn)、交付Tower Stocker和N2 Purge Stocker,填補(bǔ)了國(guó)產(chǎn)高端存儲(chǔ)設(shè)備的技術(shù)空白。未來(lái),格創(chuàng)東智將繼續(xù)優(yōu)化Stocker的技術(shù)參數(shù),如提升搬運(yùn)效率、定位精度及安全冗余等,滿足半導(dǎo)體產(chǎn)線對(duì)于規(guī)?;c自動(dòng)化升級(jí)的需求。

2、全場(chǎng)景設(shè)備矩陣,覆蓋半導(dǎo)體全流程智能存儲(chǔ)

為覆蓋半導(dǎo)體全流程存儲(chǔ)需求,格創(chuàng)東智提供晶圓盒存儲(chǔ)設(shè)備(Normal Stocker)、塔式跨樓層存儲(chǔ)設(shè)備(Tower Stocker)、光罩盒存儲(chǔ)設(shè)備(Reticle Stocker)、氮?dú)馓畛浯鎯?chǔ)設(shè)備(N2 Purge Stocker),以及空中緩存單元(OHB)、緩沖存儲(chǔ)設(shè)備(NTB)等配套設(shè)備。同時(shí),可選配人工口/天車(chē)口/AGV口/Auto Teaching等,通過(guò)精細(xì)化的軟硬件模塊組合和專(zhuān)用配置工具,快速響應(yīng)客戶定制化存儲(chǔ)需求。

3、極速交付+7*24服務(wù),保障產(chǎn)線快速落地與穩(wěn)定運(yùn)行

憑借深厚的半導(dǎo)體行業(yè)Know-How、強(qiáng)大的供應(yīng)鏈支撐、專(zhuān)業(yè)的項(xiàng)目交付團(tuán)隊(duì)及安裝施工團(tuán)隊(duì),格創(chuàng)東智Stocker可最快2.5個(gè)月設(shè)備交貨、3個(gè)月內(nèi)完成安裝調(diào)試交付,較國(guó)際品牌(平均 6-8 個(gè)月)縮短 50% 以上。同時(shí)建立全天候服務(wù)機(jī)制,客戶反饋問(wèn)題最快2小時(shí)內(nèi)響應(yīng),4小時(shí)內(nèi)到場(chǎng)維護(hù)。

4、CIM+AMHS深度聯(lián)動(dòng),驅(qū)動(dòng)整廠全自動(dòng)化

區(qū)別于單一設(shè)備供應(yīng)商,格創(chuàng)東智提供“AI+CIM+AMHS”整體解決方案,一站式提供物料自動(dòng)化上下游系統(tǒng),包括MES、RTS、MCS、RTD、OHT、Stocker等,避免多廠商設(shè)備接口不兼容、數(shù)據(jù)不通暢問(wèn)題;同時(shí)通過(guò)軟硬融合、整廠管控,實(shí)現(xiàn)“存儲(chǔ)-搬運(yùn)-生產(chǎn)”全鏈路數(shù)據(jù)打通,助力工廠實(shí)現(xiàn)無(wú)人化、高效化運(yùn)營(yíng)。


應(yīng)用場(chǎng)景:

格創(chuàng)東智Stocker覆蓋半導(dǎo)體全流程存儲(chǔ)需求

從晶圓制造到封裝測(cè)試,不同環(huán)節(jié)對(duì)存儲(chǔ)的需求各有側(cè)重,格創(chuàng)東智Stocker通過(guò)“標(biāo)準(zhǔn)版+定制款”的產(chǎn)品矩陣,實(shí)現(xiàn)全場(chǎng)景覆蓋。

●前道晶圓制造

Inter-Bay Stocker:部署于車(chē)間主通道,作為全廠晶圓調(diào)度緩沖中心,支持OHT天車(chē)跨區(qū)域轉(zhuǎn)運(yùn)。

N2 Purge Stocker:服務(wù)于曝光區(qū)、刻蝕區(qū)等關(guān)鍵機(jī)臺(tái)群,維持氧濃度和高潔凈度,保護(hù)敏感晶圓。

●后道封裝測(cè)試

載具多樣化存儲(chǔ):覆蓋Cassette、Tray盤(pán)、Mask package等多種載具,支持SIP、Fan-Out等先進(jìn)封裝。

測(cè)試回流緩存:高效管理測(cè)試分揀(Sorting)后的多次回流路徑,避免混料。

●車(chē)規(guī)/特殊材料存儲(chǔ)

車(chē)規(guī)器件存儲(chǔ):定制防靜電、低溫除濕等模塊,提高芯片可靠性。

光罩存儲(chǔ):采用防紫外線腔體+獨(dú)立氮?dú)饣芈罚苊夤饪虉D案老化或污染。


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成功案例:50+客戶驗(yàn)證的實(shí)踐成果

格創(chuàng)東智憑借“軟件+硬件+算法”三位一體的AMHS方案,已累計(jì)服務(wù)超過(guò)50個(gè)半導(dǎo)體客戶,其中不乏行業(yè)頭部企業(yè),覆蓋前道晶圓制造、后道封測(cè)全場(chǎng)景。

●晶圓制造領(lǐng)域

某頭部12英寸晶圓廠,格創(chuàng)東智交付的Stocker自動(dòng)化存儲(chǔ)方案不僅滿足了高潔凈度、高安全性需求,更以“15天交付首臺(tái)設(shè)備”的速度刷新了行業(yè)紀(jì)錄。針對(duì)客戶特殊存儲(chǔ)需求,格創(chuàng)東智自研的N2 Purge Stocker氮?dú)馓畛淞?kù),能實(shí)時(shí)維持百級(jí)超凈環(huán)境,抗震設(shè)計(jì)<0.5G,還可以通過(guò)自動(dòng)掃碼與AGV聯(lián)動(dòng)實(shí)現(xiàn)“黑燈操作”,有效保障了先進(jìn)制程晶圓的存儲(chǔ)品質(zhì)與生產(chǎn)效率。

●封裝測(cè)試領(lǐng)域

在某頭部封測(cè)企業(yè),格創(chuàng)東智結(jié)合其物流數(shù)字化升級(jí)的需求,提供了包含MCS、RTD、Stocker在內(nèi)的一站式軟硬件方案,打造整廠無(wú)人化物流體系。通過(guò)Stocker與OHT、AGV的協(xié)同調(diào)度,以及與MES系統(tǒng)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)交互,實(shí)現(xiàn)了物料從入庫(kù)、存儲(chǔ)、調(diào)度到出庫(kù)的全流程自動(dòng)化,成為封測(cè)行業(yè)規(guī)?;瘧?yīng)用自動(dòng)化的典范。


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從填補(bǔ)國(guó)產(chǎn)高端Stocker技術(shù)空白,到實(shí)現(xiàn)50+行業(yè)客戶的實(shí)踐驗(yàn)證;從保障前道先進(jìn)制程晶圓存儲(chǔ)安全,到支撐后道封測(cè)多場(chǎng)景柔性生產(chǎn),格創(chuàng)東智Stocker始終以 “技術(shù)自主可控、場(chǎng)景深度適配、服務(wù)高效響應(yīng)” 為核心,將單一存儲(chǔ)設(shè)備升級(jí)為驅(qū)動(dòng)產(chǎn)線良率與效率雙提升的核心樞紐。


在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁向更高制程、更柔性生產(chǎn)的當(dāng)下,格創(chuàng)東智將持續(xù)以“AI+CIM+AMHS”整體解決方案為抓手,不斷優(yōu)化Stocker的技術(shù)性能與場(chǎng)景適配能力,從存儲(chǔ)環(huán)節(jié)出發(fā),串聯(lián)起半導(dǎo)體制造全流程的自動(dòng)化與智能化升級(jí),為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)突破國(guó)際技術(shù)壁壘、實(shí)現(xiàn)自主可控高質(zhì)量發(fā)展注入堅(jiān)實(shí)動(dòng)力。

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李娜
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